皮秒激光是指激光發(fā)射脈沖寬度時(shí)間為皮秒級(jí)，其依靠自身極高的峰值功率，瞬間氣化材料，熱效應(yīng)微乎其微，加工邊緣整齊。
通過皮秒激光在掃描振鏡的移動(dòng)反射下經(jīng)平場(chǎng)掃描物鏡聚焦在脆性材料表面，掃描振鏡控制激光束進(jìn)行多次重復(fù)轉(zhuǎn)圈運(yùn)動(dòng)，逐漸燒蝕材料表面，材料被高密度峰值功率激光瞬間加熱迅速升高至等離子體氣化溫度，使得材料逐漸被激光燒蝕并以氣體的形式從材料表面逸出，從而實(shí)現(xiàn)材料的切透分離。
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